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MiniLab-60T PVD 薄膜沉積系統

應用領域:

適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、鈣鈦礦太陽能電池、鋰電池、有機膜等 , 用于鍍制低熔點金屬及合金材料薄膜,單 / 多層 / 復合膜,例:銅、鎂、鋁、金、銀、鋇、鉍、鋅、銻等;用于太陽能電池、LED 的研究和實驗。用于有機材料等蒸發; 鍍制非金屬 / 化合物等材料薄膜等

 MiniLab 60G熱蒸發.jpg

基本配置:

真空腔室: D 型圓筒形,尺寸約 ф450×H450mm,前開門結構;采用鉸鏈、鋁制前門,手動,上下 2 個杠桿把手,膠圈密封, 腔體內表面采用電解拋光處理;外表面采用拉絲拋光,無擦傷及劃痕。 

抽氣系統:采用復合分子泵 + 直聯旋片泵作為真空抽氣系統; 主抽泵:分子泵抽速≥ 1200L/S,氮氣壓縮比≥ 109 ; 前級泵:VRD-30 機械泵及電磁閥,抽速:8L/S 主抽閥: CCQ-200 超高真空氣動插板閥 

* 真空系統可以升級為進口分子泵和渦旋干泵。 

真空測量:數顯復合真空計:兩低一高全量程數顯復合真空計; 

* 真空測量可以升級為進口全量程冷陰極真空計 

極限真空:<5×10-5Pa 

恢復真空:<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

蒸發源(選配): 金屬蒸發源:4 組金屬蒸發源在腔體底部呈發散形分布 , 相互間擋板隔開 , 避免交叉污染,兼容金屬和有機材料蒸鍍; 爐:4 組有機蒸發源,坩堝容量(2CC),角度 0-30 度可調,最高溫度:700,控制精度 ±0.5; 

蒸發電源:采用恒壓、恒流真空鍍膜電源,功率 2.4Kw;電流調節精度 0.01A,電壓調節精度 0.001V,數量:2 有機物蒸發電源:采用 10V30A 穩流電源,電流調節精度:0.01A,最小分辨率:0.1mV,0.1mA 數量:2  

樣品臺:可容納樣品最大尺寸:6 英寸樣品托一個 , 配擋板,轉速 0-30rpm 連續可調 ; 樣品可加熱控溫,溫度范圍:室 -600,控溫精度 ±0.5;( 可選帶掩膜庫系統樣品臺

膜厚監測儀:采用 Inficon SQM-160 速率 / 膜厚監測儀,配 1 個水冷探頭。在線監測蒸發速率與達到膜厚關閉基片擋板。 

控制單元:15 英寸觸摸屏 +PLC 控制

選擇配置:

樣品臺可水冷,采用直接式水冷形式,水冷不控溫 

可選薄膜鍍層控制儀(SQC-310 

可選進口蒸發電源 

全量程真空計 (Inficon) 

樣品托 : 不銹鋼、鋁或銅,基片盤上有螺紋孔

系統要求標準配置:

工藝氣體 :25psi,純度 99.99% 以上 

工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮氣 

: 三相 380V, 50Hz, 32A 

:18-25 , 6L/min,壓力 <0.4MPa



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