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Table PVD-15 金屬和有機物熱蒸發系統

應用領域:

Table PVD-15 一款小型電阻蒸發鍍膜儀,主要特點是設備體積小,結構簡單緊湊易于操作, 適用于實驗室制備金屬單質膜、 半導體膜、鈣鈦礦太陽能電池、鋰電池、有機膜等,也可用作教學及生產線前期工藝試驗等。 

 可鍍制低熔點金屬及合金材料薄膜,單層 / 多層 / 復合膜,( Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等);鍍制非金屬 / 化合物 等材料薄膜( Mo03, LiF 等;有機材料等蒸發;太陽能電池、LED 的研究和實驗;描電鏡制樣等。

Table PVD-15 有機物蒸發鍍膜儀.jpg

基本配置: 

真空腔室:Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

真空系統:機械泵 + 分子泵兩級真空系統 前級泵:VRD-16 機械泵,抽速:4L/S 主抽泵:分子泵,抽氣速率:300L/S 主抽閥:CCQ-100 超高真空氣動插板閥, 

極限真空:<5×10-5Pa 

恢復真空:<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

真空測量:兩低一高數顯復合真空計 

源:2 組金屬蒸發源;(標配) 最多 2 個有機束源爐源;(選配) 

蒸發電源:采用恒壓、恒流真空鍍膜電源, 最大功率 2.4KW,電流調節精度:0.01A 

樣品臺:可容納樣品最大尺寸:3 英寸樣品托一個 , 配擋板,轉速 0-30rpm 連續可調 ; 樣品可加熱控溫, 溫度范圍:室溫 -300℃,控溫精度 ±0.5℃; 

系統控制:10 英寸觸摸屏 +PLC 控制(可選手動按鈕控制)

工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮氣 

: 單相 220V , 50Hz, 16A 

:18-25 , 1L/min,壓力 < 0.4MPa

選擇配置: 

樣品臺可水冷,采用直接式水冷形式,水冷不控溫 

全量程真空計( Inficon 

速率 / 膜厚監控測儀(SQM-160 

可選進口蒸發電源 

系統要求標準配置: 

真空腔室:Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

真空系統:機械泵 + 分子泵兩級真空系統 前級泵:VRD-16 機械泵,抽速:4L/S 主抽泵:分子泵,抽氣速率:300L/S 主抽閥:CCQ-100 超高真空氣動插板閥, 極限真空:<5×10-5Pa 

恢復真空:<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

真空測量:兩低一高數顯復合真空計 

源:2 組金屬蒸發源;(標配) 最多 2 個有機束源爐源;(選配) 

蒸發電源:采用恒壓、恒流真空鍍膜電源, 最大功率 2.4KW,電流調節精度:0.01A 

樣品臺:可容納樣品最大尺寸:3 英寸樣品托一個 , 配擋板,轉速 0-30rpm 連續可調 ; 樣品可加熱控溫, 溫度范圍:室溫 -300℃,控溫精度 ±0.5℃; 

系統控制:10 英寸觸摸屏 +PLC 控制(可選手動按鈕控制)


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